等温炉内衬
极端温度均匀性
快速的请求
等温炉内衬
等温炉衬(IFLs)是一种环形液态金属热管,提供了一个温度均匀的工作环境。Boyd公司的avid热事业部的IFLs通过实现等温壁温,节省时间和精力,bob体育在线下载同时最大限度地提高生产力。由于没有活动部件,IFL安装简单,提供了设计灵活性,是非常可靠和经济有效的。与探头不同,IFL不依赖于连接到周围墙壁或外部环境的传热路径。
在大多数应用中,avid IFLs使用单个加热器和控制器提供单个均匀温度区。对于多个、单独控制的区域或温度剖面的阶梯变化,两个或多个IFLs可以串联使用。温度调节是一个简单的一步过程,不需要频繁的剖面测量。
在半导体晶体生长、热电偶和温度校准、气相沉积、黑体散热器、聚光太阳接收器等精密工艺中,等温炉衬提供的优越温度均匀性是必需的。IFLs非常适合化工加工和研究应用中的工艺管和实验室炉。测得的IFL空间温度变化小于10mK,在许多情况下可能超过现有测量技术的灵敏度。
操作到1600°C的标准IFLs有各种尺寸,适合水平或垂直应用的常规炉孔。定制的IFLs可用于亚环境和低温操作。IFL的尺寸和几何形状可以定制为任何应用程序。
等温加工容器(IPV)是等温炉内衬的延伸,自1971年以来一直供应给半导体晶体种植者和校准实验室。
等温炉衬解决方案
- 温度调节可靠,无运动部件
- 平滑多个单独控制区域之间的温度剖面
- 用等温炉衬简化阶梯温度变化
- 使用Solimide®泡沫提高系统效率和安全性,以绝缘和减少电力使用
- 用我们的隔热罩保护周围的设备